丘成桐：为学术交流“拆围墙”—新闻—科学网

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　90vs体育讯 北京时间5月27日，足协官方公布新一轮罚单，上海申花门将马镇因实施暴力行为，在比赛中拳打对手，被停赛5场罚款5万。

　　在比赛补时阶段，双方发生冲突，VAR介入后，主裁判艾堃改黄为红，马镇被红牌罚下，回放显示马镇疑似对蓉城球员有挥拳动作，申花在最后阶段用完换人名额的情况下，只能由金洋洋客串门将。

　　记者17日从国新办举行的“高质量完成‘十四五’规划”系列主题新闻发布会上获悉，“十四五”期间，国务院国资委组织深入实施中央企业“AI+”专项行动效果初显，在能源、制造、通信等16个重点行业打造了800多个应用场景，积极推动国产大模型在企业的应用和落地。

　　“‘人工智能+’不是简单的技术叠加，而是一场全方位的范式变革。”国务院国资委副主任李镇在发布会上表示，当前人工智能技术加速迭代演进，深刻改变了人类的生产和生活方式，重塑了全球产业格局。作为长期扎根传统产业领域的中央企业，更要积极拥抱AI、科学运用AI，善于把“激动人心的概念”转化为“产业升级的大脑”，以AI新技术赋能新质生产力发展。

　　据李镇介绍，“十四五”期间，中央企业“AI+”专项行动实施已取得一定成效：成立了交通物流、绿色低碳、智慧能源3个行业数据产业共同体，建设行业数据集超过1000个；通信运营商加快向AI基础底座供应商转变，累计投资超百亿元，建成4个“万卡集群”，智算规模比“AI+”行动实施前增长超过2倍；突出产业特色，加快建设自主可控、安全可靠的基础大模型，目前“九天”“星辰”“元景”等大模型，已在能源电力、工业制造等领域加快应用；发起设立了“焕新社区”，汇聚了244个垂类行业模型、近160个高质量数据集，有效助力人工智能技术普惠应用。

　　下一步，国资央企将积极落实国务院近期发布的《关于深入实施“人工智能+”行动的意见》，结合企业自身优势和发展实际，持续深化“AI+”专项行动，推动中央企业在人工智能领域实现更好发展、发挥更大作用。(记者 高亢 王希)

丰泽区市场监管局查处3起

春节期间酒店未履行价格承诺典型案例

　　01丰泽区某六酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于侨乡体育馆附近的某六酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月订单及春节期间预订订单数据，经核算，该酒店“简雅大床房”近三个月均价为158.64元/晚，春节期间平台预订价格高达500元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第（四）项“经营者不得有下列不正当价格行为：（四）利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第（五）项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：（五）无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。

　　02丰泽区某曼酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于宝洲街附近的某曼酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月成交订单及春节期间预付订单数据，经初步核算，该酒店“特惠单人房”近三个月均价为88.93元/晚，春节期间平台预订价格高达543元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第（四）项“经营者不得有下列不正当价格行为：（四）利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第（五）项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：（五）无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。

　　03丰泽区某朵酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于浦西万达附近的某朵酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。经查，该酒店“几木套房”春节期间平台预订价格高达2277元/晚。根据当事人提供酒店近三个月平台订单数据，经核算，该房型近三个月均价为841元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺，当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第(四)项"经营者不得有下列不正当价格行为：(四)利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第(五)项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：(五)无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。